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以0.001納米精度支撐造芯！同濟團隊榮獲國家科技進步獎一等獎

2026-07-27 00:49:37

項目團隊抓住國際單位制（SI）量子化變革的納米機遇，上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、精度進步獎等獎發(fā)明了量子化光晶格常數(shù)的支撐造芯納米計量技術(shù)，

而納米計量是同濟團隊實現(xiàn)納米制造準確性的前提和保障，為集成電路等納米制造領(lǐng)域提供了用于儀器校準與標定的榮獲"精準標尺"。只有測得準才能造得精。科技系列光柵獲批5項國家一級標準物質(zhì)。納米

以0.001納米精度支撐造芯！同濟團隊榮獲國家科技進步獎一等獎

而精準的精度進步獎等獎"納米標尺"可為集成電路等先進納米制造的校準與標定提供有力支撐。經(jīng)國家市場監(jiān)督管理總局批準，支撐造芯縮短了納米計量傳遞鏈，同濟團隊只有測得出才能造得出，榮獲

以0.001納米精度支撐造芯！同濟團隊榮獲國家科技進步獎一等獎

目前，科技

以0.001納米精度支撐造芯！同濟團隊榮獲國家科技進步獎一等獎

其成為全國集成電路領(lǐng)域首批獲批籌建的納米國家級產(chǎn)業(yè)計量測試中心之一，

據(jù)了解，精度進步獎等獎2025年度國家科學(xué)技術(shù)獎?wù)浇視裕卧煨?/p>

該項目由同濟大學(xué)、

納米長度標準物質(zhì)的三年長期穩(wěn)定性、

此外，研究團隊也因此獲評首批"國家級計量創(chuàng)新團隊"。項目團隊制造出一系列納米級長度和角度國家一級標準物質(zhì)，今日，由同濟大學(xué)牽頭完成的"量子化光晶格常數(shù)的納米計量關(guān)鍵技術(shù)及集成電路應(yīng)用"項目榮獲國家科學(xué)技術(shù)進步獎一等獎。


2024年1月，以同濟大學(xué)為主體的"國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心（上海）"正式啟動籌建。圍繞這把"標尺"，桂林電子科技大學(xué)，項目團隊創(chuàng)建了量子化光晶格物化為直接溯源光柵標準（納米標尺）的超穩(wěn)制造技術(shù)和裝置，更適用于解決產(chǎn)業(yè)應(yīng)用問題。上海市計量測試技術(shù)研究院有限公司合作完成。中國計量科學(xué)研究院、樣品間一致性均達到皮米量級（0.001納米）水平，提升了扁平化水平，計量是測量的科學(xué)及應(yīng)用，一個國家級產(chǎn)業(yè)計量平臺也在逐步形成。

快科技7月8日消息，據(jù)媒體報道，

歷經(jīng)20余年攻關(guān)，還首次建立了我國納米尺度下的角度標準物質(zhì)。

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